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                產品中心
                SpecEl橢偏儀
                • 名稱:SpecEl橢偏儀
                • 型號:SpecEl
                • 品牌:Ocean Optics
                • 描述:SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實...
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                產品概述
                主要特點
                選型指南
                資料下載

                SpecEl 橢偏儀

                      SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。


                技術參數

                波長范圍:

                380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)

                光學分辨率

                4.0 nm FWHM

                測量精度

                厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

                入射角

                70°

                膜厚

                單透明膜1-5000 nm

                光點尺寸

                2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選)

                采樣時間

                3-15s (小)

                動態記錄

                3 seconds

                膜層數

                至多32層

                參考

                不需要

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